Etch是一种用于制作微细结构和图案的设备,通常用于半导体制造和微电子行业。它通过化学蚀刻或物理蚀刻的方式将图案和结构转移到半导体材料或其他材料上。在半导体制造过程中,Etch设备能够精确地控制芯片表面的结构和图案,从而实现精密的电路和微结构的制作。
它在集成电路制造、MEMS(微机电系统)制造和纳米技术等领域有着广泛的应用,是现代电子工业中不可或缺的一种设备。